产品凯发k8国际唯一的解决方案
- 产品简介
端头特点:
1.采用全封闭式铝型材结构,将磁铁及磁轭部分完全与靶筒内的冷却水分隔开,避免因长期浸水腐蚀引起的磁场变化
2.型材式结构大幅加强了磁钢的刚性,避免磁钢变形与靶筒发生摩擦产生的磁场变化
3.磁场调整结构采用螺纹式设计,使得磁场均匀性的调整更加精密
4.出水孔的独特设计使冷却水有效冷却溅射靶材的高温区,冷却效果更佳
5.安装维护简易方便
端头参数:
类型 |
mb3300 |
mb2540 |
mb1400 |
磁棒长度(mm) |
3850 |
3192 |
1920 |
表面磁场强度 |
>550gs |
||
磁场均匀性 |
≤±1.0% |
||
磁场可调范围 |
≤±25% |