产品凯发k8国际唯一的解决方案
- 产品简介
北玻镀膜水平式建筑镀膜线，采用磁控溅射沉积技术，在玻璃表面沉积一系列介质和金属薄膜，主要用于加工各种low-e玻璃、ar膜，以及阳光控制玻璃等。
设备特点：
1. 溅射室由一系列结构相同的795mm井位单元构成
2. 泵井位采用独特的气体隔离装置
3. 应用新一代以铝型材为支撑结构的可调式磁棒
4. 设计5-9段辅助工艺气体分配系统，每一段可以选择不同类型的气体
5. 采用伺服电机控制，实现传输的高精度控制。
6. 不断缩小进/出口室腔体体积，提高节拍，降低成本
7. 工艺气体分配系统集成在阴极盖板上
8. 每一个阴极单元都配有独立的控制系统
9. 前后室采用整体式盖板设计，可实现机械提升和液压提升
10. 镀膜区采用磁悬浮分子泵和干泵
技术参数：
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se2540h系列 |
se3300h系列 |
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基片 |
浮法玻璃，钢化玻璃，夹胶玻璃等 |
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基片尺寸 |
max. 2540×3660mm（可定制） |
max. 3300×6000mm（可定制） |
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基片厚度 |
3-19mm（可定制） |
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机械节拍 |
> 20s |
>30s |
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极限真空 |
< 2e-6mbar |
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有效运行时间 |
>95% |
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膜层均匀性 |
≤±1.0% |
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