产品凯发k8国际唯一的解决方案
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特点:
1. 采用全封闭式铝型材结构,将磁铁及磁轭部分完全与靶筒内的冷却水分隔开,避免因长期浸水腐蚀引起的磁场变化
2. 型材式结构大幅加强了磁钢的刚性,避免磁钢变形与靶筒发生摩擦产生的磁场变化
3. 磁场调整结构采用螺纹式设计,使得磁场均匀性的调整更加精密
4. 出水孔的独特设计使冷却水有效冷却溅射靶材的高温区,冷却效果更佳
5. 安装维护简易方便
类型
参数
mb3300
mb2540
mb1400
磁棒长度(mm)
3850
3192
1920
表面磁场强度
>550gs
磁场均匀性
≤±1.0%
磁场可调范围
≤±25%
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类型
参数
mb3300
mb2540
mb1400
磁棒长度(mm)
3850
3192
1920
表面磁场强度
>550gs
磁场均匀性
≤±1.0%
磁场可调范围
≤±25%